电导率测试夹具---深圳市艾蒙特科技

SPDRs
SPDR用于测量层状介质材料的复介电常数，包括L-TCC衬底，以及在低损耗介质衬底上沉积的铁电薄膜。此外，SPDR还可用于测量各种导电材料的表面电阻和电导率，如商用电阻层、导电聚合物薄膜或高阻半导体。这种测量仅适用于Rs>5 kWsquare的大型表面电阻样品。

SPDR使用特定的谐振模式。这种模式有一个特定的共振频率取决于谐振器的尺寸，但在某种程度上，也取决于被测样品的电性能。因此，每个谐振器被设计为特定的标称频率，并且实际测量是在接近标称频率的频率下进行的。SPDR基本线路的标称频率为：1.1GHz、1.9 GHz、2.45 GHz、5 GHz、10 GHz。其他频率在1.1到20 GHz之间的谐振器可以根据特殊要求制造。

SiPDRs
SiPDRs用于测量**材料和电阻薄膜的表面阻抗，以及半导体晶片的导电性的无接触测量。可测量的薄膜材料范围包括电阻层，表面电阻Rs<20kQ/平方的金属薄膜和导电聚合物薄膜。半导体晶片的电阻率测量上限约为1000 Qcm。利用分裂后介电共振可以方便地测量高电阻率半导体

表面电阻的测定精度约为±2%。